在半導體晶圓(使用支持晶圓)的不斷支持下,可在任何時候剝離/收集半導體晶圓。強烈建議用于半導體晶圓的背面研磨處理。
特征
具有超薄的研磨功能。
對晶圓提供穩固的支撐,從而避免晶圓彎曲和下垂。
任何時候都可通過熱處理輕松剝離。
結構
![]() |
產品編號 | NWS-TS322F |
厚度 [μm] | 148 |
熱分離粘合劑的粘合劑強度 (常態)[N/20 mm](對硅的粘合劑強度) |
1.7 |
熱分離粘合劑的粘合劑強度 (熱處理后)[N/20 mm](對硅的粘合劑強度) |
0.2 或更小 |
壓敏粘合劑的粘合劑強度 [N/20 mm](對硅的粘合劑強度) |
1.5 |
【備注】
* 上述數據為樣品測量值,因此不能保證其實際性能。
工藝流程
![]() |
【備注】
* 剝離膠帶后,粘合片上可能會有超低劑量的材料(有機元素)殘留在被粘合體上??赡軙粝骂w粒,尤其是在硅晶圓上。請確認殘留材料或顆粒不會產生任何應用問題。